單晶硅爐負(fù)壓吸塵系統(tǒng)HV高負(fù)壓真空吸塵我司結(jié)合單晶硅生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的粉塵特點(diǎn)研發(fā)的脈沖反吹型真空吸塵系統(tǒng)，具有風(fēng)量大、脈沖反吹、穩(wěn)定可靠、整體體積小等特點(diǎn)?？捎行Ы鉀Q單晶硅生產(chǎn)過程中硅爐內(nèi)壁殘留的粉塵。