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ZM03酒精傳感器利用MEMS工藝在Si基襯底上制作微熱板,所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化…
ZM03酒精傳感器利用MEMS工藝在Si基襯底上制作微熱板,所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料。當(dāng)傳感器所處存在氣體環(huán)境中時(shí),傳感器的電導(dǎo)率隨空氣中被檢測(cè)氣體的濃度而發(fā)生改變。該氣體的濃度越高,傳感器的電導(dǎo)率就越高。該傳感器靈敏度高,小巧精密,采用I2C數(shù)字信號(hào)輸出方式,便于多個(gè)傳感器組網(wǎng)觀測(cè),同時(shí)預(yù)置一個(gè)引腳作為報(bào)警觸發(fā)信號(hào)輸出,可廣泛應(yīng)用于環(huán)境安全,便攜儀器等諸多領(lǐng)域。
MEMS工藝、穩(wěn)定可靠、超低功耗、高靈敏度、抗電磁干擾
便攜儀器、工礦安全、醫(yī)療衛(wèi)生、現(xiàn)場(chǎng)控制、氣象監(jiān)測(cè)
工作電壓 | 3.0V | 工作電流 | ≤25mA |
加熱功率 | 80mW | 量程 | 50ppm |
輸出方式 | I2C從機(jī)模式 | 默認(rèn)地址 | 0x55 |
I2C速率(V) | 10-100kbps | 上拉電阻 | 需外置上拉電阻 |
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